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壓力傳感器是工業(yè)實踐中最常用的傳感器,廣泛應用于各種工業(yè)自動控制環(huán)境,涉及水利水電、鐵路運輸、智能建筑、生產(chǎn)自動控制、航空航天、軍工、石油化工、油井、電力、船舶、機床、管道等多個行業(yè)。
1.應變式壓力傳感器的原理
機械傳感器有很多種,如電阻應變式壓力傳感器、半導體應變式壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、感應式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器和電容式速度傳感器。但壓阻式壓力傳感器是應用最廣泛的一種,它價格低廉,精度高,線性度好。下面我們主要介紹這種傳感器。為了給阻力傳感器減壓,我們首先知道電阻應變儀。電阻應變儀是一種敏感裝置,它將被測件上的應變變化轉(zhuǎn)換成電信號。它是壓阻式應變傳感器的主要部件之一。金屬電阻應變計和半導體應變計被廣泛使用。
金屬電阻應變計有兩種:線應變計和金屬箔應變計。
通常,應變儀通過一種特殊的粘合劑與產(chǎn)生機械應變的基體緊密結(jié)合。當矩陣的應力改變時,電阻應變儀也將變形,這將改變應變儀的電阻,從而改變施加到電阻上的電壓。這種應變儀受力時電阻變化通常很小。一般來說,這種應變儀形成一個應變橋,由隨后的儀表放大器放大,然后傳輸?shù)教幚黼娐返娘@示器或致動器(通常是模數(shù)轉(zhuǎn)換和中央處理器)。
電阻應變儀的工作原理
金屬電阻應變儀的工作原理是吸附在基體材料上的應變電阻隨機械變形而變化,這就是通常所說的電阻應變效應
應該是。金屬導體的電阻值可由以下公式表示:
其中:金屬導體的電阻率(cm2/m)
s-導體的橫截面積(cm2)
l-導體長度(m)
我們以線應變電阻為例。當導線受到外力時,其長度和橫截面積會發(fā)生變化。從上面的公式可以很容易地看出,它的電阻值會發(fā)生變化。如果導線被外力拉伸,其長度將增加,而其橫截面積將減小,其電阻值將增加。當導線受到外力壓縮時,長度減小,橫截面增大,電阻值減小。只要測量施加到電阻上的變化(通常測量電阻兩端的電壓),就可以獲得應變導線的應變壓力。
2.陶瓷壓力傳感器原理
耐腐蝕陶瓷壓力傳感器也是基于壓阻效應,壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面,造成膜片輕微變形。厚膜電阻(壓敏電阻)印刷在陶瓷膜片的背面,并連接形成惠斯通電橋(閉合電橋)。由于壓阻的壓阻效應,電橋產(chǎn)生與壓力和激勵電壓成正比的高度線性的電流。
壓力信號,標準信號根據(jù)不同的壓力范圍標定為2.0/3.0/3.3毫伏,可與應變傳感器兼容。通過激光校準
該傳感器具有較高的溫度穩(wěn)定性和長期穩(wěn)定性。傳感器通常有自己的溫度補償,因為壓力接口是陶瓷的,可以直接與大多數(shù)介質(zhì)接觸。
陶瓷是公認的高彈性、腐蝕、磨損、沖擊和振動的材料。得益于陶瓷的熱穩(wěn)定性特性和厚膜電阻,工作溫度范圍達到-40135C,可以測量高準確度和穩(wěn)定性。傳記絕緣程度>>2kV,輸出信號強,器官穩(wěn)定性好。高特性、低價錢陶瓷傳感器將成為壓力傳感器的發(fā)展方向,歐美國家傾向于全面替代其他類型的傳感器。
在中國,使用陶瓷傳感器代替擴散硅壓力傳感器的用戶也在增加。
擴散硅壓力傳感器工作原理也基于壓阻效應。單晶硅材料在外力作用下發(fā)生微小變形,內(nèi)部原子機制的電子能級狀態(tài)發(fā)生變化,電阻率突變(G因子突變)的電阻也發(fā)生了巨大變化。這種物理效果稱為壓阻效果。利用壓阻效應的原理采集集成工藝技術,利用摻雜、擴散、單晶硅晶體方向、變形電阻、惠斯通電橋配置、硅材料的彈性力學特性,在同一個硅材料中進行各向異性微加工,將產(chǎn)生集中力和力轉(zhuǎn)換傳感為一體的擴散硅傳感器。
測量介質(zhì)中的壓力直接作用于傳感器的膜片(不銹鋼或陶瓷),導致膜片發(fā)生在與介質(zhì)壓力成比例的微位移中。傳感器的電阻值發(fā)生變化,使用電子電路檢測牙齒變化,輸出對應于牙齒壓力的編織測量信號。
4、藍寶石壓力傳感器原理
利用變形電阻工作原理,將硅-藍寶石(硅-)作為半導體敏感元件,具有無可比擬的測量特性。
藍寶石系統(tǒng)不發(fā)生單晶絕緣體元素、延遲、疲勞、蠕變現(xiàn)象,藍寶石比硅堅固、硬度高,不怕變形。MSstone具有很好的藥彈性和絕緣特性(1000C展示),因此用硅-藍寶石(硅-)制作的半導體敏感部件對溫度變化不敏感,在高溫下也能很好地工作。藍寶石抗輻射屏障很強。此外,硅-藍寶石半導體敏感組件,p-n漂移,因此從根本上簡化了制造工藝,提高了重復性,并確保了高產(chǎn)量。用硅-藍寶石半導體敏感元件制作的壓力傳感器和變送器在最壞的工作條件下正常工作,可靠性高,準確度高,溫度誤差小,價錢性能好。
5、壓電壓力傳感器原理
主要用于壓電傳感器的壓電材料有石英、酒石酸鉀鈉、磷酸二氫胺。其中石英(二氧化硅)是一種天然晶體,壓電效應是這種晶體中的發(fā)現(xiàn),在一定溫度范圍內(nèi)壓電材料繼續(xù)存在,但溫度超過牙齒范圍,壓電材料就會完全消失(牙齒高溫被稱為“居里點”)。隨著應力的變化,電場的變化微乎其微(即壓電系數(shù)較低),石英逐漸被其他壓電晶體取代。酒石酸鉀鈉的壓電靈敏度和壓電系數(shù)很大,但只能應用在室溫和濕度低的環(huán)境中。磷酸一。氫胺是人造晶體,能經(jīng)受高溫和相當高的濕度,已經(jīng)被廣泛應用。目前壓電效應還適用于鈦酸溴系壓電陶瓷、PZT、溴酸鹽系壓電陶瓷、鎂酸鉛壓電陶瓷等目前壓電陶瓷。壓電效應是壓電傳感器的主要工作原理,壓電傳感器不能用于靜態(tài)測量。因為經(jīng)過外力作用的電荷只有在電路有無限輸入阻抗的情況下才能保存。實際情況并非如此,因此確定壓電傳感器只能測量動態(tài)應力
壓力傳感器主要用于加速度、壓力、力等測量。壓電傳感器還可用于發(fā)動機內(nèi)部的燃燒壓力測量和真空度測量。也可以用來測量軍事工業(yè),例如槍。