壓力傳感器(Pressuretransducer)是一種能夠感知壓力信號并按一定規(guī)律將壓力信號轉換為可用輸出電信號的設備或裝置。
壓力傳感器通常由壓力敏感元件和信號處理單元組成。壓力傳感器可分為表壓傳感器、差壓傳感器和絕壓傳感器。
壓力傳感器是工業(yè)實踐中最常用的傳感器,廣泛應用于各種工業(yè)自控環(huán)境,涉及水利、水電、鐵路交通、智能建筑、生產自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、管道等行業(yè)。以下是一些常用的傳感器原理及其應用。還有一個醫(yī)用壓力傳感器。
分類:
壓力傳感器是應用最廣泛的傳感器之一。傳統(tǒng)的壓力傳感器主要是機械結構設備,彈性元件的變形表示壓力,但結構尺寸大,質量重,不能提供電氣輸出。隨著半導體技術的發(fā)展,半導體壓力傳感器也應運而生。其特點是體積小、質量輕、準確性高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術的發(fā)展,半導體傳感器向微型化發(fā)展,功耗小,可靠性高。
1.擴散硅壓力變送器。
擴散硅壓力變送器是將隔離的硅壓阻壓力敏感元件包裝在不銹鋼外殼中制成的。它可以將感覺到的液體或氣體壓力轉換為標準的電信號輸出。
2.半導體壓電阻型。
半導體壓電阻抗擴散壓力傳感器在薄片表面形成半導體變形壓力,通過外力(壓力)使薄片變形,產生壓電阻抗效應,將阻抗變化轉化為電信號。
3.靜電容量型。
靜電容量壓力傳感器是將玻璃的固定極與硅的可動極相對形成電容,將可動極變形引起的靜電容量變化轉化為電氣信號。
各種壓力傳感器的工作原理:
1.壓阻式壓力傳感器。
電阻應變片是壓阻應變傳感器的主要組成部分之一。金屬電阻應變片的工作原理是吸附在基體材料上的應變電阻隨機械變形而變化,通常稱為電阻應變效應。
2.陶瓷壓力傳感器。
陶瓷壓力傳感器基于壓阻效應,壓力直接作用于陶瓷膜的前表面,使膜產生微小的變形。厚膜電阻印在陶瓷膜的背面,連接成惠斯通電橋。由于壓敏電阻的壓阻效應,電橋產生與壓力成正比的高線性。電壓信號也與激勵電壓成正比標準信號根據(jù)壓力范圍標定為2.0/3.0/3.3mV/V,可與應變傳感器兼容。
3.擴散硅壓力傳感器:
擴散硅壓力傳感器的工作原理也是基于阻力效應。利用阻力效應原理,被測介質的壓力直接作用于傳感器膜(不銹鋼或陶瓷),使膜產生與介質壓力成正比的微位移,改變傳感器的電阻值,用電子線檢測變化,轉換輸出相應壓力的標準測量信號。
4.藍寶石壓力傳感器:
采用應變電阻工作原理,硅藍寶石作為半導體敏感元件,具有無與倫比的測量特性。因此,硅藍寶石制成的半導體敏感元件對溫度變化不敏感,即使在高溫條件下也具有良好的工作特性;藍寶石具有很強的抗輻射特性;此外,硅藍寶石半導體敏感元件沒有p-n漂移。
5.壓電壓力傳感器:
壓電效應是壓電傳感器的主要工作原理。壓電傳感器不能用于靜態(tài)測量,因為外力作用后的電荷只能在電路有無限輸入阻抗時保存。實際情況并非如此,因此壓電傳感器只能測量動態(tài)應力。
應用領域:
壓力傳感器主要用于:增壓缸、增壓器、氣液增壓缸、氣液增壓器、壓力機、壓縮機、空調制冷設備等領域。