微型傳感器是利用微機(jī)械加工技術(shù)制造的新型傳感器。相比于傳統(tǒng)傳感器元件，這一類別的傳感器憑借其質(zhì)輕體小、靈敏可靠、易于集成等優(yōu)良特性，成為推動(dòng)傳感器不斷向微型和智能化發(fā)展的主要?jiǎng)恿?；同時(shí)也被各大制造商和用戶所青睞。

微型傳感器有以下五個(gè)發(fā)展趨勢(shì)：

1、無(wú)源化。

傳感器是將非電量轉(zhuǎn)換成電量的設(shè)備，電源是傳感器中不可或缺的重要部分，把太陽(yáng)能或風(fēng)能用芯片收集起來(lái)，轉(zhuǎn)換成傳感器所需的電源，無(wú)線傳感模塊和芯片的有效結(jié)合將會(huì)實(shí)現(xiàn)MEMS的無(wú)源化。

2、微型化。

大眾越來(lái)越青睞便攜式、可佩戴式迷你型設(shè)備，消費(fèi)者需求小型化傳感器，集成技術(shù)和納米技術(shù)將推進(jìn)微型傳感器的發(fā)展。

3、低成本。

傳感器往往有成千上萬(wàn)的網(wǎng)絡(luò)節(jié)點(diǎn)數(shù)，控制不好單個(gè)網(wǎng)絡(luò)節(jié)點(diǎn)數(shù)的價(jià)格致使傳感器網(wǎng)絡(luò)成本很高。解決好網(wǎng)絡(luò)結(jié)點(diǎn)數(shù)并且實(shí)用化，助推傳感器網(wǎng)絡(luò)化。

4、安全性和抗干擾能力。

穩(wěn)定性是衡量傳感器性能好壞的重要指標(biāo)。

傳感器網(wǎng)絡(luò)和其他網(wǎng)絡(luò)一樣也會(huì)面臨安全威脅。怎樣利用最經(jīng)濟(jì)合理的手段實(shí)現(xiàn)傳感器網(wǎng)絡(luò)安全，微型傳感器受到外界干擾時(shí)，還能穩(wěn)定可靠的工作將是發(fā)展趨勢(shì)。

5、節(jié)點(diǎn)實(shí)現(xiàn)自診斷、自動(dòng)配置。

由于傳感器網(wǎng)絡(luò)中節(jié)點(diǎn)數(shù)多，工作時(shí)當(dāng)節(jié)點(diǎn)出現(xiàn)故障時(shí)，能夠迅速找到故障點(diǎn)并且不影響網(wǎng)絡(luò)的正常使用。將是MEMS 研究的方向。 

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