與傳統(tǒng)傳感器相比，微型傳感器具有許多新的特性，可以彌補(bǔ)傳統(tǒng)傳感器的不足，具有廣泛的應(yīng)用前景，越來越受到重視。本文詳細(xì)介紹了一些微型傳感器的結(jié)構(gòu)和原理，闡述了微型傳感器的基本功能特點(diǎn)和發(fā)展趨勢。
微傳感器的特點(diǎn)：
由于傳統(tǒng)傳感器材的制造工藝與半導(dǎo)體IC工藝不兼容，無論是功能、規(guī)模還是成本，都無法適應(yīng)IC技能制造的高速、高密度、小體積、低成本信號(hào)處理設(shè)備，從而限制了整個(gè)系統(tǒng)的集成、批量和功能的充分發(fā)揮。
微型傳感器不是傳統(tǒng)傳感器的簡單物理縮小產(chǎn)品，而是通過MEMS加工技術(shù)制備的新一代傳感器材，具有小型化、集成化的特點(diǎn)，具有新的工作機(jī)制和物化效應(yīng)，可以大大提高傳感器的功能。信號(hào)傳輸前可以擴(kuò)大信號(hào)，然后減少干擾和傳輸噪音，提高信噪比；在芯片上集成反應(yīng)線和補(bǔ)償線，可以提高輸出的線性和頻響特性，減少錯(cuò)誤，提高靈敏度。
具有陣列性。靈敏元件可以集成在一個(gè)芯片上，擴(kuò)大電路和補(bǔ)償線路。可以在同一個(gè)芯片上集成多個(gè)相同的靈敏元件；兼容性突出，便于與微電子設(shè)備集成和包裝。
使用老練的硅微半導(dǎo)體工藝加工制作，能夠批量生產(chǎn)，本錢十分低價(jià)。
